安全与品质
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硅烷
SiH4

六氟化钨
WF6

一氧化二氮
N2O

氦气
He

三氯氢硅
TCS

氨气
NH3

氯气
Cl2

磷烷/氢气
PH3/H2

氘气
D2

三氟化氮
NF3

氯化氢
HCl

二氯二氢硅 DCS

四氟化碳
CF4

一氟甲烷
CH3F

二氟甲烷
CH2F2

三氟甲烷
CHF3

五氟乙烷
C2HF5

六氟丁二烯
C4F6

八氟环丁烷
C4F8

八氟环戊烷
C5F8

六氟化硫
SF6

四氟化硅
SiF4

四氯化硅
SiCl4

溴化氢
HBr

三氯化硼
BCl3

四氟化锗
GeH4

一氧化氮
NO

二氧化硫
SO2

一氧化碳
CO

二氧化碳
CO2

乙炔
C2H2

乙烯
C2H4

丙烯
C3H6

氪气
Kr

氙气
Xe

氖气
Ne

羟基硫
COS

氮气
N2

氩气
Ar

硅烷/氮气
SiH4/N2

磷烷/氮气
PH3/N2

乙硼烷/氮气
B2H6/N2

氪气/氖气
Kr/Ne

氟气/氪气/氖气
F2/Kr/Ne

氩气/氙气/氖气
Ar/Xe/Ne

氟气/氩气/氖气
F2/Ar/Ne

氧气/氦气
O2/He

氢气/氮气
H2/N2

甲基三氯硅烷
MTS
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